[实用新型]一种蒸镀机的坩埚遮板机构有效
| 申请号： | 202023145778.1 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214168113U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 曹恒涛 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板旁的防着板上固定设有遮条，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板和遮条的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，气动阀门带动遮板旋转，坩埚遮板机构结构简单，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀机 坩埚 板机 | ||
【主权项】：
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