[实用新型]用于对部件承载件进行检查的装置及设备有效
| 申请号： | 202023146989.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214374383U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 赵骄阳;何瑞攀 | 申请（专利权）人： | 奥特斯科技（重庆）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 王晖;曹桓 |
| 地址： | 401133 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 一种用于对部件承载件进行检查的装置，其特征在于，所述装置包括：i)用于沿着轨迹发射第一电磁辐射束的电磁辐射源；ii)用于保持待检查的部件承载件的样品保持件，其中部件承载件包括至少一个通孔，并且其中样品保持件被配置成将部件承载件保持到位，使得第一电磁辐射束的轨迹穿过至少一个通孔；iii)光学元件，所述光学元件被布置成在第一电磁辐射束穿过至少一个通孔之后对其进行接收，并且被配置成使第一电磁辐射束的至少一个物理参数改变以提供第二电磁辐射束；以及iv)用于接收第二电磁辐射束的电磁辐射检测器。本实用新型还提供一种用于对部件承载件进行检查的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 部件 承载 进行 检查 装置 设备 | ||
【主权项】：
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