[实用新型]一种真空镀膜多段式可调节布气系统

摘要

本实用新型涉及太阳能真空管加工设备，特别是一种真空镀膜多段式可调节布气系统。解决布气管道长距离供应不稳定问题。包括布气管道和供气装置，布气管道上设有若干出气孔，布气管道中间多个位置被截断以后，通过连接套固定在一起，布气管道被分成若干段相对封闭的区域；供气装置并联设有多根分气管，中间一根分气管接入到最接近的布气管道，其他分气管向前延长接入到每段布气管道上的中间位置且互相连通；每根分气管上设有精密针阀。分段供气，同时供气气压更为稳定，满足不同工艺要求，延展性更强，旧设备改造成本低。