[实用新型]生长亚微米级金刚石薄膜的提升旋转装置有效
| 申请号： | 202023161377.5 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214168188U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 曹振忠;王希玮;王笃福;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 济南金刚石科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/04 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所(普通合伙) 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新技*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种生长亚微米级金刚石薄膜的提升旋转装置，包括支架、升降转轴、升降机构和旋转机构，升降机构和旋转机构均设置在支架上，升降转轴连接在升降机构上并与旋转机构连接，升降转轴的顶端连接生长垫盘。本实用新型通过调节生长垫盘高度和旋转速率的方式控制外延薄膜沉积效率，优化各外延区域的沉积速率，随着生长过程中籽晶衬底高度的升高动态调节垫盘的高度并旋转，能保证同一籽晶衬底的生长延续性与均匀性，保证了晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 微米 金刚石 薄膜 提升 旋转 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于济南金刚石科技有限公司，未经济南金刚石科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023161377.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可灭菌消毒的便携式电子烟盒
- 下一篇：一种用于消防设施的气密检测装置
