[实用新型]制备亚微米级金刚石薄膜的化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 202023161506.0 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214168189U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 王希玮;曹振忠;王笃福;徐现刚;王盛林 | 申请（专利权）人： | 济南金刚石科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B25/12;C30B25/10;C30B25/20;C30B29/04;C30B25/08 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所(普通合伙) 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新技*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种制备亚微米级金刚石薄膜的化学气相沉积装置，包括垫盘、托盘、石英窗和垫盘运动机构，垫盘、托盘、冷却盘和石英窗由上至下依次设置，垫盘连接在垫盘运动机构的动力输出端；垫盘内设置有加热装置。所述垫盘运动机构，包括支架、升降转轴、升降机构和旋转机构，升降机构和旋转机构均设置在支架上，升降转轴连接在升降机构上并与旋转机构连接，升降转轴的顶端连接所述垫盘。本实用新型通过垫盘运动机构调节生长垫盘高度和旋转速率、加热垫盘的方式控制外延薄膜沉积效率，优化各外延区域的沉积速率，随着生长过程中籽晶衬底高度的升高动态调节垫盘的高度并旋转，能保证同一籽晶衬底的生长延续性与均匀性，保证了晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 微米 金刚石 薄膜 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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