[实用新型]一种滤波器晶圆级封装结构有效
申请号: | 202023166841.X | 申请日: | 2020-12-24 |
公开(公告)号: | CN213846630U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 朱其壮;李永智;吕军;赖芳奇 | 申请(专利权)人: | 苏州科阳半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/64 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215143 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体封装技术领域,公开了一种滤波器晶圆级封装结构。所述滤波器晶圆级封装结构包括滤波器晶圆、覆盖晶圆及微凸焊点,其中,滤波器晶圆包括基板,基板的上表面设置有功能区和多个焊垫,基板上开设有通孔,通孔内设置有Cu连接体,Cu连接体与所述焊垫电性连接,覆盖晶圆由硅片制成,覆盖晶圆通过胶水层粘合于基板的上表面,覆盖晶圆靠近基板的一侧开设有凹槽,功能区容纳于所述凹槽内,微凸焊点设置在所述基板下侧并与Cu连接体连接。本实用新型的滤波器晶圆级封装结构,结构简单、封装方便,且整体更轻薄,封装结构质量好。 | ||
搜索关键词: | 一种 滤波器 晶圆级 封装 结构 | ||
【主权项】:
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