[实用新型]一种光刻胶颗粒度测试装置有效
| 申请号： | 202023168196.5 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214384566U | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 顾大公;陈玲;马新龙;许东升;许鹏;陈阳;胡海斌;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于光刻胶测试技术领域，提供了一种光刻胶颗粒度测试装置，包括，高位槽，与光刻胶生产线连接用于存储待测光刻胶；颗粒仪，用于测量待测光刻胶的颗粒度；高位槽底部设有进料口；高位槽的侧下方设有出料口；颗粒仪的出口端还设有流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过高位槽中待测光刻胶自身重力和出口端的流量计同时作用，使待测光刻胶以稳定的流速进入颗粒仪，简化了操作，提高了测试精度。解决了光刻胶颗粒度测试时，因流量不稳导致仪器容易报错的问题；并且相对于现有在进口端通过阀门需要实时调节的方法，简化了操作，可重复操作性高，并大大缩短了光刻胶产品生产时颗粒度检测的时间，提升了数据可靠性和重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 颗粒 测试 装置 | ||
【主权项】：
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