[实用新型]炉管设备中的晶舟运动机构

摘要

本实用新型公开了一种炉管设备中的晶舟运动机构，包括电机和转盘，基座的顶面形成有由至少两段波浪面首尾相连组成的导轨面的圆形导轨，且波浪面的形状和尺寸相同；转盘包括上连接部、导向杆部、下连接部，上连接部安装有与波浪面的数量相同的导轮，上连接部与晶舟固定连接，且上连接部与导向杆部的上端固定连接，下连接部与电机的输出轴固定连接且下连接部与导向杆部构成滑槽滑轨结构；在导向杆部与下连接部发生相对上下运动时，导轮与波浪面的接触面保持在同一水平面内。本实用新型不但可以实现晶舟的旋转运动，而且晶舟可以周期性上下螺旋运动，从而使反应气体更加均匀地发生反应，进一步改善做业时制品的膜厚均一性，提升制品良率和器件性能。