[实用新型]一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机

摘要

本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机，其中，更换机构包括机台、推板和驱动机构；机台上设有用于容纳晶圆放置板的容纳槽，容纳槽的底面中部设有过孔；推板上设有推动部，晶圆放置板上设有连接块，连接块可相对晶圆放置板拆卸；其中，驱动机构用于驱动推板运动，推板用于受驱动通过推动部经由过孔推动连接块，以带动晶圆放置板伸出或缩入容纳槽。根据本实用新型的技术方案，启动驱动机构即可将晶圆放置板从容纳槽内推出，方便对晶圆放置板进行更换；另外，由于晶圆放置板背面上的受推部即连接块可拆卸，从而连接块磨损后可及时拆下进行更换。