[实用新型]用于气相沉积法的硫进气量控制装置

摘要

本实用新型公开了一种用于气相沉积法的硫进气量控制装置，包括加热仓体、进出气机构、加热机构、检测机构和升降机构，加热仓体由外向内依次为密封外壳、保温夹层和抗腐蚀隔板，所述密封外壳为不锈钢制成的空心长方体，进出气机构固定在加热仓体的左右两侧，加热机构、检测机构和升降机构均固定在加热仓体内部。本装置结构简单、设计合理，利用PLC和传感器配合，实现对加热机构和进出气机构的自动调整，精准控制进入气相沉积法反应区域的硫粉的温度和流量，具有极强的实际应用价值。