[实用新型]用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置有效
| 申请号： | 202023203686.4 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214233493U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 孙士玉;孙睿浩;许冠辰;肖浦 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D46/00 |
| 代理公司： | 济南领升专利代理事务所(普通合伙) 37246 | 代理人： | 崔苗苗 |
| 地址： | 250000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置，包括密封壳体，所述密封壳体为空心长方体，密封壳体中按照废气流向依次连接有一次活性炭过滤器、碱液过滤器组和二次活性炭过滤器，所述碱液过滤器组共设有顺次连接的三个完全相同的碱液过滤器，一次活性炭过滤器处连接有进气管、二次活性炭过滤器处连接有排气管，进气管和排气管穿过通孔伸出密封壳体。本装置利用两个活性炭过滤器和三个碱液过滤器对CVD法合成二硫化钼过程的废气进行处理，同时利用装置内部的高浓度碱液储液槽和进液机构，根据碱液过滤器中碱液的浓度适时补充碱液以保证过滤效果，装置整体占地面积小，便于在多场景中使用，具有极强的具体使用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 cvd 合成 二硫化钼 过程 废气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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