[实用新型]镀膜治具及镀膜装置有效
| 申请号： | 202023229735.1 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214218848U | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张续朋;刘宏亮;杨彦伟 | 申请（专利权）人： | 芯思杰技术（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 艾青;牛悦涵 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜治具及镀膜装置。镀膜装置包括镀膜治具以及镀膜机，镀膜治具安装在镀膜机上，镀膜治具包括治具本体，治具本体形成有自治具本体正面贯穿至治具本体背面的镀膜空间，治具本体正面相对设置的两侧分别开设有凹槽，凹槽的内壁形成用于放置待镀膜芯片的放置区域，且凹槽的内壁的截面形状呈V字形。由于凹槽的内壁的截面形状呈V字形，可以成角度放置待镀膜芯片，以便同时对待镀膜芯片的两个表面和90度夹角进行镀膜，并且，治具本体还形成有自正面贯穿至背面的镀膜空间，即治具本体中间是空心的，方便从下往上对待镀膜芯片的两个表面和90度夹角镀上一层薄膜，既可以对角度镀膜，又可以提高镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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