[实用新型]一种MEMS气体传感器芯片的封装结构有效

专利信息
申请号: 202023231156.0 申请日: 2020-12-28
公开(公告)号: CN214087704U 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 沙华露;张克栋;冯奇;崔铮;王锦;宁文果;刘福星;王帅;陈晓跃;楚延鹏;余飞 申请(专利权)人: 上海汽车集团股份有限公司;苏州纳格光电科技有限公司
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81B7/02;G01N31/10;G01N31/12
代理公司: 北京信远达知识产权代理有限公司 11304 代理人: 赵兴华
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请公开了一种MEMS气体传感器芯片的封装结构,该封装结构借助于两个PCB板,将气体传感器芯片的第一芯片和第二芯片分别贴装于两个独立的PCB板上,在PCB板层面即可完成第一芯片和第二芯片的电阻配对工作,同时降低了封装成本,也可以方便地转移至塑料或金属基座,进而加装防爆外壳和放水透气膜,解决了现有技术中的封装结构的配对误差大,封装成本高,以及在贴装之后,无法进行二次更换的问题。
搜索关键词: 一种 mems 气体 传感器 芯片 封装 结构
【主权项】:
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