[实用新型]一种氮化镓半导体生产用的单晶炉有效
| 申请号： | 202023235916.5 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214458451U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人： | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B35/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用的单晶炉，包括固定框、单晶炉本体、抽气口、搅拌轴和伺服电机，所述固定框的内部通过轴承安装有单晶炉本体，且单晶炉本体的内部设置有加热管，所述单晶炉本体的底端开设有下料槽，所述固定框顶端通过轴承安装有贯穿单晶炉本体的第一转轴，且第一转轴的外壁皆设置有搅拌轴，所述第一转轴的外壁设置有第一锥形齿轮，所述单晶炉本体的外壁设置有第二锥形齿轮，所述固定框的内侧通过轴承安装有第二转轴。该氮化镓半导体生产用的单晶炉，通过第三锥形齿轮带动第二锥形齿轮相啮合，进而第二锥形齿轮带动单晶炉本体与第一转轴异向转动，便于对单晶炉本体内材料充分搅拌，调高了搅拌效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 半导体 生产 单晶炉 | ||
【主权项】：
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