[实用新型]一种适用于条形磁控靶的挡板结构有效
| 申请号： | 202023238360.5 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214422740U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 王丁;张帆;李平川;唐德礼 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空等离子体技术领域，具体涉及一种条形磁控靶挡板结构，包括位于真空室内的挡板和挡板座，以及与挡板一端连接的驱动机构；挡板由上下2块支撑板和1块面板焊接而成，本装置可通过在磁控靶法兰上开孔安装，无需在真空室开孔；安装接口占用小，条形磁控靶长度方向占用不超过25mm，安装拆卸简单，与磁控靶一体式结构，方便调试检修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 条形 磁控靶 挡板 结构 | ||
【主权项】：
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