[实用新型]一种金属剥离工艺的收集装置和金属剥离装置有效
| 申请号： | 202023246941.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214937819U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 邹福松;蔡文必 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00;B08B3/02;C30B33/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠;林燕玲 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种金属剥离工艺的收集装置和金属剥离装置，套设于高压喷头外，包括筒体，其顶部具有开口供高压喷头插入，底部设有喷孔，该喷孔直径大于高压喷头的直径，且喷孔位于高压喷头喷射端下方；筒体底部设有若干小孔。本实用新型通过筒体实现金属薄膜碎片的自动收集，避免其回溅而刮伤晶圆片，从而提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 剥离 工艺 收集 装置 | ||
【主权项】：
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