[实用新型]一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组有效
| 申请号： | 202023247533.X | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214249909U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人： | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/167 | 分类号： | F24F3/167;F24F8/158;F24F8/108;F24F8/20;F24F13/28 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于空气净化处理机组技术领域，尤其为一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，包括机组本体，所述机组本体的内壁滑动连接有活性炭杀菌网，所述机组本体的内壁滑动连接有第一防尘网，所述机组本体的内壁滑动连接有第二防尘网，所述活性炭杀菌网、第一防尘网和第二防尘网的顶部均固定连接有拉板，所述机组本体的顶部固定连接有固定盒。本实用新型通过拉杆的设置，使拉杆向两边拉动时，带动限位板向两边压缩伸缩杆和压缩弹簧，将插杆从套筒内抽出，使插杆与拉板分离，配合活性炭杀菌网、第一防尘网、第二防尘网与机组本体滑动连接，从而可将活性炭杀菌网、第一防尘网、第二防尘网抽出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 半导体 生产 洁净室 空气 处理 机组 | ||
【主权项】：
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