[实用新型]一种用于PVD设备的水流监测保护装置有效
| 申请号： | 202023249127.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN213748602U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王开兵;陈子涵 | 申请（专利权）人： | 上海悦匠实业有限公司 |
| 主分类号： | G01F15/06 | 分类号： | G01F15/06;G01F1/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于PVD设备的水流监测保护装置，包括安装在PVD设备中每一腔体对应的进水管上的水流量计和安装在PVD设备中机台上的管路安装板，管路安装板上固定有与水流量计一一对应的固定板，水流量计固定在对应的固定板上；水流监测保护装置还包括控制器、总开关、与该些进水管连接的水泵和报警器，该些水流量计均与控制器电连接，水泵通过总开关与控制器电连接，报警器与控制器电连接。本实用新型的用于PVD设备的水流监测保护装置，避免了无水情况导致的火灾，增加机台正常工作时间和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pvd 设备 水流 监测 保护装置 | ||
【主权项】：
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