[实用新型]等离子体处理装置及绝缘窗口有效
| 申请号： | 202023254054.0 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214099577U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 巴文林;陈煌琳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理装置及绝缘窗口，其中，绝缘窗口包括：绝缘窗口本体；气体通道，开设于所述绝缘窗口本体内；热气体源和冷气体源，用于向所述气体通道内输送热气体和冷气体；阀装置，用于调整流通于所述气体通道内热气体相对于冷气体的混合比，以控制所述气体通道内气体的温度；控制器，用于控制所述阀装置来调整流通于所述气体通道内热气体相对于冷气体的混合比。所述绝缘窗口的温度动态可控，且均匀性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 绝缘 窗口 | ||
【主权项】：
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