[实用新型]一种晶圆的磨削非接触式测量结构有效
| 申请号： | 202023272258.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214025232U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 吴东晓 | 申请（专利权）人： | 无锡锐弘精机有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B55/00 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 张姝 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆的磨削非接触式测量结构，包括回转气缸，所述回转气缸的上端设置有轴承座，且轴承座的上端安装有转轴，所述转轴上套接有摆杆，该摆杆的最右端设置有激光测量仪，且所述激光测量仪的下端设置有测量仪保护罩，所述回转气缸带动转轴转动，所述摆杆以转轴为轴心沿着转轴作旋转运动；本实用新型一种晶圆的磨削非接触式测量结构，由于晶圆磨削需要在线测量，但接触式测量易将晶圆划伤，所以设计成非接触式测量，由于磨削时有磨削液会使激光产生折射，会使测量产生误差，所以将压缩气冲入量仪保护罩中，使测量的表面没有液体，从而保证测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 接触 测量 结构 | ||
【主权项】：
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