[实用新型]一种晶片清洗治具有效
| 申请号： | 202023278615.0 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214184370U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 刘胜男;邓天将 | 申请（专利权）人： | 湖南科鑫泰电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/14 | 分类号： | B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 413000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶片清洗治具，包括清洗底座、清洗盘，所述清洗底座呈顶面及一端侧面呈敞口的腔体结构；所述清洗底座侧面敞口处且靠近顶面敞口位置从外向内延伸设有第一安装槽，所述清洗盘装配在第一安装槽内，并覆盖清洗底座顶面的敞口，清洗盘端面阵列分布有用于放置晶片的放置槽；所述清洗底座顶面靠近侧面敞口处从上至下设有第二安装槽，并在第二安装槽内插设有封板，该封板将清洗盘固定在清洗底座内部；所述清洗底座下端面正对清洗盘的位置设有漏水槽。本实用新型在方便将清洗盘安装的同时能够根据需要更换不同规格的清洗盘用于不同规格晶片的清洗，提高清洗治具的适性应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 清洗 | ||
【主权项】：
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