[实用新型]液体供应系统消泡装置有效
| 申请号： | 202023286129.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN215387721U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 戴文俊 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;尹一凡 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种液体供应系统消泡装置及清洗方法，消泡装置悬空设于所述液体槽顶部，包括消泡部件、液泡传感器、进气阀、进液管、进气管、排液管和排气管；原液自进液口装载入所述液体槽，混液叶轮旋转带动所述原液产生液泡，液泡传感器感应所述液泡，并打开进气管，所述进液管吸入所述液泡，所述液泡进入所述消泡装置并消泡，并经所述排液管排入所述液体槽。本实用新型采用物理消泡方式，通过所述消泡部件的消泡叶轮使气液分离，不会产生化学反应，具有良好的制程可控性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 供应 系统 装置 | ||
【主权项】：
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