[实用新型]电容式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202023288284.9 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN213938322U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘雨微;孟珍奎;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/08 |
| 代理公司： | 广东普罗米修律师事务所 44615 | 代理人： | 齐则琳;黄利平 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电容式MEMS麦克风。本实用新型提供的电容式MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设于基底上的电容系统，电容系统包括背板及与背板相对间隔设置的振膜，其通过在背板面向振膜的一面设置背板凸起和/或在振膜面向基底的一面凸设多个振膜凸起，在背板凸起上设置贯穿背板的第一孔洞，并在振膜凸起上设置贯穿振膜的第二孔洞，将背板凸起和振膜凸起均设置为空心结构，从而可防止背板与振膜相粘连及防止振膜与基底相粘连，提高了所述电容式MEMS麦克风的可靠性，同时，由于背板凸起为空心结构，从而还可适当增加声学孔占空比，因而也有利于降低背板的声学噪音。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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