[实用新型]一种利用光栅尺协助测量的驱动机构调零装置

摘要

本实用新型公开了一种利用光栅尺协助测量的驱动机构调零装置，包括设备安装平台、旋转控制机构、测量机构、驱动机构，测量机构安装于设备安装平台的上方，测量机构用于测量驱动机构机械零位的实际偏差，旋转控制机构安装于设备安装平台的上面，驱动机构的输入端与旋转控制机构的输出端相连接，旋转控制机构用于控制驱动机构旋转并反馈旋转角度。本实用新型采用了旋转测量的方法，在测量运动上，相对于主滑块直线滑行测量，不会受到直线导轨平面与工作平面不完全平行产生的纵向误差影响；在测量形式上，相对于竖直测量动子定位销，倾斜测量减少了光电位移传感器本身带来的测量误差，提高了测量机构的测量精度。