[实用新型]一种石英硅片清洗槽机构有效
| 申请号： | 202023311797.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214160712U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陶锡昆 | 申请（专利权）人： | 昆山佳鹿石英有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种石英硅片清洗槽机构，包括清洗槽、丝杆螺母、硅片放置框和电机；所述清洗槽内壁上设有进液槽，所述进液槽上设有进液孔，所述丝杆螺母设于清洗槽的四个直角处，所述硅片放置框两侧通过连接柱与与丝杆螺母上的升降板连接，所述电机固定于升降板朝向进液槽的一侧，且电机的转轴贯穿升降板与连接柱连接，所述硅片放置框的内壁设有放置槽，硅片放置框底部设有通槽。本实用新型可降低清洗成本，实现清洗槽内的清洗剂随时可循环流动，有利于保持清洗剂的浓度，保证清洗效果，从而提高后续使用质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 硅片 清洗 机构 | ||
【主权项】：
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