[实用新型]一种高效散热的平面靶有效
| 申请号： | 202023315858.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214218842U | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 王伟平;王金泉;王菊姿 | 申请（专利权）人： | 莱糸真空科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效散热的平面靶，涉及平面靶领域，为解决现有技术中的现有的平面靶在高强度使用中会产生高温，影响溅射速率的问题。所述平面靶主体的一侧安装有散热连接板，所述散热连接板的一侧安装有支撑板，所述支撑板的一侧安装有冷却水箱，所述平面靶主体的内表面设置有平面靶限位块，所述平面靶限位块设置有四个，四个所述平面靶限位块的一侧均设置有平面靶凹槽，所述散热连接板的内侧设置有连接板限位块，四个所述连接板限位块的一侧均设置有连接板凹槽，所述连接板凹槽的内部安装有冷却水管，所述冷却水管的两端均延伸至连接板限位块内部与连接板限位块密封连接，所述连接板限位块的内部设置有储水腔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 散热 平面 | ||
【主权项】：
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