[实用新型]一种共用气路的设备有效
申请号: | 202023316436.1 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214249154U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 林佳继;庞爱锁;朱太荣;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | F17D1/02 | 分类号: | F17D1/02;F17D3/01;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型为一种共用气路的设备,包括进气管路以及炉管;进气管路包括总进气管路以及分支进气管路;分支进气管路包括共用分支进气管路;一条共用分支进气管路的进气端与至少一条总进气管路连通;一条共用分支进气管路的出气端与一个炉管组连接;一个炉管组包括两个及两个以上的炉管;通过设置共用分支进气管路实现多管使用同一条进气管道,以及同一组管道上的检测设备,能够减少气路器件,降低硬件成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 共用 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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