[实用新型]一种高精度物镜调焦用位移平台

摘要

本实用新型公开了一种高精度物镜调焦用位移平台，包括底座和滑台，所述滑台通过滑动组件滑动式安装在所述底座的顶面，所述底座的顶面设有凹槽，所述凹槽内设有直线电机；所述直线电机的定子组件安装在凹槽内，动子组件与滑台固定连接，用于驱动所述滑台在底座顶面滑移；所述底座和滑台的外侧壁还设有限位组件和平衡组件。本实用新型采用直线电机驱动滑台在底座上滑移，配合双排交叉滚子导轨，高刚性、低阻力的交叉滚子导轨可以确保滑台高精密的直线滑动，整个结构左右对称均衡布置，使得整个滑台能够确保最佳平稳度，机械带宽高，直线电机加减速运行得以最大发挥，良好的动态性能得以保证。