[实用新型]一种提高分离良率的辅助装置有效
| 申请号： | 202023320302.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN213814286U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高分离良率的辅助装置，包括腔室，腔室的内腔侧壁上固定安装有固定板和安装板，固定板的顶部设有离子风扇，离子风扇的输入端连接有气管，离子风扇的输入端通过气管连接有氮气瓶，安装板的中部设有螺孔，螺孔内螺接有螺柱，螺柱的底端贴合有立柱，立柱的底端固定安装有压板，压板的底部紧密贴合在离子风扇的外壳顶部，本实用新型通过在腔室的内部安装有连接氮气瓶的离子风扇，离子风扇保持常开状态，氮气充满腔室的腔体，能保持压印腔体干燥洁净，有效去除压印过程中软膜与硬模具之间的静电，且在分离时能有效降低脱模阻力，提高分离良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 分离 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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