[实用新型]一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构有效
| 申请号： | 202023321052.9 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215560631U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王伟平;王金泉;王菊姿 | 申请（专利权）人： | 莱糸真空科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，涉及真空镀膜技术领域，为解决现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部，导致安装的不够稳定，长时间使用后其旋转时稳定性较差的问题。所述转盘的上方安装有支撑杆，所述支撑杆的上方安装有保持架，所述转盘的安装有下连接座，所述下连接座的下端设置有传动轴，所述传动轴下端的外部安装有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧安装有第二齿轮，所述第二齿轮的上方安装有第三齿轮，所述第三齿轮的另一侧安装有第四齿轮，所述第四齿轮的下方安装有驱动电机，所述保持架包括内撑架、外撑架、通槽、滚槽、滚珠和上连接座，所述支撑杆的外侧安装有工件架。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 真空镀膜 稳定性 回转 机构 | ||
【主权项】：
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