[实用新型]一种惰性气体纯化器有效
申请号: | 202023323074.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214422256U | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 戴荣国 | 申请(专利权)人: | 江苏安瑞森电子材料有限公司 |
主分类号: | C01B23/00 | 分类号: | C01B23/00 |
代理公司: | 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙) 34170 | 代理人: | 蒋玉娇 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种惰性气体纯化器,包括进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩,所述加热箱内设有L型管,所述L型管通过导气管与进气罩和过滤吸附箱相连接,所述L型管的外壁上缠绕设有加热线圈,所述加热箱的内部设有加热器。本实用新型通过设置有进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩,从而可以通过加热箱内的L型管外壁上的加热线圈以及加热器工作对惰性气体进行加热提高纯化效率,通过呈倾斜向下设置且倾斜方向相反的第一导向板和第二导向板以及第一过滤网板和第二过滤网板,从而可以对惰性气体经有效的过滤提高钝化质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 惰性气体 纯化 | ||
【主权项】:
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