[实用新型]一种晶圆传输装置

摘要

本实用新型公开一种晶圆传输装置，包括上料装置、下料装置、探针测试仪以及位于上料装置和下料装置之间的生产线，上料基座上设置有传输装置；传输装置包括输入端伸缩传输装置、输入端主传输装置以及输入端660mm传输装置。下料装置包括下料基座；下料基座一侧同样设置有升降机构；所述下料基座上设置有输出端主传输装置；所述输出端主传输装置一侧设置有输出端660mm传输装置；所述输出端660mm传输装置一侧连接有升降机构；所述输出端660mm传输装置内设置输出端弹起装置。本实用新型通过设置检测装置，进行自我检测，能够减少晶圆不良率的产生；同时设置有通过工业相机自动获取晶圆的尺寸；对于传统设备，该晶圆传输设备具有高速度、高精度、高自动化的特点。