[实用新型]一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管有效

专利信息
申请号: 202023344565.1 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN214361840U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 吴慧敏;陈刚 申请(专利权)人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司
主分类号: C30B31/10 分类号: C30B31/10
代理公司: 金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 33307 代理人: 陈迪
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管。它包括有内柱体和套设在内柱体外部的外管体,内柱体和外管体均为石英材质,外管体的一端为开口设置,而另一端为闭合设置,内柱体与外管体之间连接有石英结点,石英结点用于连接固定内柱体和外管体,外管体上开设有若干贯通管体的扩散孔,外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度。外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度,这样设计有利于气体均匀的充满扩散炉,有利于电池片的扩散反应。同时内柱体加外管体的结构具有更好的抗弯强度,自身的长度尺寸可以做得更大。
搜索关键词: 一种 改善 扩散 均匀 尺寸 石英管
【主权项】:
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