[实用新型]用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构和晶体生长设备有效
| 申请号： | 202023346386.1 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215757725U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 袁长路;苗江涛 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张文姣 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构和晶体生长设备，晶体生长设备包括坩埚，坩埚升降旋转机构用于驱动坩埚上下移动，坩埚升降旋转机构包括固定支架、滑座组件和驱动组件，滑座组件适于与坩埚相连，驱动组件包括驱动器和升降机构，驱动器安装在固定支架上，升降机构与滑座组件配合，驱动器通过升降机构驱动滑座组件上下移动，以使滑座组件适于带动坩埚上下移动。根据本实用新型的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构，结构紧凑、便于节省占用空间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶体生长 设备 坩埚 升降 旋转 机构 | ||
【主权项】：
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