[实用新型]开盖机构有效

专利信息
申请号: 202023347846.2 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN213483731U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 赵轶;杜振东;舒贻胜;郭剑飞;谢世敏;姚建强;黄长兴;陈夏薇;宋金梁 申请(专利权)人: 杭州长川科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 王雪莎
地址: 310000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种开盖机构,涉及晶圆测试装备技术领域,本实用新型提供的开盖机构包括:开盖面板、开盖组件、传动件和驱动件;开盖组件包括门栓和传动轮,门栓与开盖面板转动连接,传动轮与门栓传动连接,驱动件通过传动件驱动传动轮转动;驱动件与传动轮之间或传动轮与门栓之间设有过载保护件,当门栓卡在开盖面板时,过载保护件阻断驱动件向门栓传递动力。本实用新型提供的开盖机构缓解了相关技术中开盖机构开盖失败时导致晶圆盒盖损坏的技术问题。
搜索关键词: 机构
【主权项】:
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