[实用新型]单晶炉真空管道清洁系统有效
| 申请号： | 202023348162.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215745287U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 黄保强;王建军;李逸 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/035 | 分类号： | B08B9/035;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张文姣 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉真空管道清洁系统，包括：真空管道，所述真空管道连接在炉体和真空泵之间，所述真空管道上设有检修口，所述检修口处设有用于打开或关闭所述检修口的密封盖；进气管道，所述进气管道与所述真空管道连通，所述进气管道上设有调节装置，所述调节装置用于控制外界含氧气体是否流入所述进气管道。根据本实用新型的单晶炉真空管道清洁系统，采用自动清洁与手动人工清洁相结合的方式，对真空管道的清洁干净、彻底，解决了相关技术中清洁工作耗时耗力、效果不理想的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 真空 管道 清洁 系统 | ||
【主权项】：
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