[发明专利]化学溶液的颗粒监测装置及方法在审
| 申请号： | 202080001354.1 | 申请日： | 2020-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112513518A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 洪淳锡;黄明环;张世炫 | 申请（专利权）人： | 半导体科技全球有限公司 |
| 主分类号： | F17D3/01 | 分类号： | F17D3/01;F17D5/00;H01L21/67;H01L21/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国京畿道城南市盆唐*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供化学溶液的颗粒监测装置，包括：化学溶液供给装置，用于收容化学溶液，根据控制部的作业开始信号供给上述化学溶液；第一供给流路，与上述化学溶液供给装置相连接，用于供给上述化学溶液；过滤器，与上述第一供给流路相连接，用于净化上述化学溶液；分支流路及主流路，从上述过滤器分支而出；排液阀，与上述分支流路相连接，用于开闭上述分支流路；颗粒监测器，与上述主流路相连接，用于监测上述化学溶液的颗粒量；以及分配器部，从上述颗粒监测器接收上述化学溶液，来向作业对象物供给上述化学溶液，上述颗粒监测器与分配器部通过第二供给流路相连接，在上述第二供给流路设置控制阀，上述控制阀用于对从上述颗粒监测器供给到分配器部的上述化学溶液的供给进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 溶液 颗粒 监测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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