[发明专利]电子枪、电子射线应用装置以及电子枪的控制方法在审
| 申请号： | 202080002276.7 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN112352300A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 小泉淳;饭岛北斗 | 申请（专利权）人： | 日商光电魂股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 刘军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种仅以电子枪所具备的构成就能够直接监视从光电阴极所发射的电子束的强度的电子枪、搭载有电子枪的电子射线应用装置以及电子枪的控制方法。为解决上述课题，本发明的电子枪包括：光源；光电阴极，因应来自光源的受光而发射电子束；阳极；电子束遮蔽构件，可遮蔽电子束的一部分；及测量部，使用通过电子束遮蔽构件所遮蔽的测量用电子束，而测量从光电阴极所发射的电子束的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 电子枪 电子 射线 应用 装置 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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