[发明专利]用于测试半导体装置的装置和方法有效
| 申请号： | 202080002670.0 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN112154337B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李继华;章涛;林文杰 | 申请（专利权）人： | 英诺赛科（珠海）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 519085 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种测试电路及其操作方法。所述测试电路包含第一电路和第二电路。所述第一电路具有第一电容器和第二电容器。所述第一电路被配置成将跨所述第一电容器的第一电压的至少一部分传递到所述第二电容器。所述第二电路具有所述第一电容器和所述第二电容器。所述第二电路被配置成将跨所述第二电容器的第二电压的至少一部分传递到所述第一电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 半导体 装置 方法 | ||
【主权项】：
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