[发明专利]陶瓷加热器有效
| 申请号： | 202080005516.9 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112840741B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 相川贤一郎;赤塚祐司;竹林央史;安藤孝浩 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/28 | 分类号： | H05B3/28;H05B3/14;H05B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;孔博 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的陶瓷加热器在氧化铝基板的上表面设有晶片载置面，从晶片载置面侧起依次在氧化铝基板中埋设有设置于每个区域的电阻发热体以及向电阻发热体供电的多级跳线，且具备将电阻发热体和跳线沿上下方向连结的发热体连结导通孔、以及为了向跳线供电而向外部取出的供电导通孔。发热体连结导通孔的电阻率小于电阻发热体的电阻率。发热体连结导通孔的热膨胀系数与氧化铝基板的热膨胀系数之差的绝对值小于电阻发热体的热膨胀系数与氧化铝基板的热膨胀系数之差的绝对值。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 加热器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本碍子株式会社，未经日本碍子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080005516.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用户设备和资源传输方法
- 下一篇：带有第一保护膜的工件加工物的制造方法
