[发明专利]陶瓷加热器及其制法有效

专利信息
申请号: 202080006299.5 申请日: 2020-01-16
公开(公告)号: CN113170536B 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 石川征树;本山修一郎 申请(专利权)人: 日本碍子株式会社
主分类号: H05B3/02 分类号: H05B3/02;H05B3/10;H05B3/14
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 陈彦;孔博
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)。陶瓷板(20)具有晶片载置面(20a),包含碳成分作为杂质,被分为内周侧区域(Z1)和外周侧区域(Z2)。在内周侧区域(Z1)设置有高熔点金属制的内周侧电阻发热体(22)。在外周侧区域(Z2)设置有至少表面为金属碳化物制的外周侧电阻发热体(24)。
搜索关键词: 陶瓷 加热器 及其 制法
【主权项】:
暂无信息
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