[发明专利]物理量检测装置在审
| 申请号： | 202080006415.3 | 申请日： | 2020-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN113597538A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 上之段晓;野田智史;斋藤直生;中村昌道;三木崇裕;五来信章;石川贵之 | 申请（专利权）人： | 日立安斯泰莫株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种相较于以往而言能够提高流量检测部的噪声性能的物理量检测装置。本发明的物理量检测装置(20)具备板状的芯片封装件(208)，所述板状的芯片封装件(208)从被测量气体的流路突出配置，具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度(W)。该芯片封装件(208)具有流量检测部(205)、增速流路(208c)、测量面(208a)、非测量面(208b)以及隔流部(208d)。增速流路(208c)的截面积缩窄，配置有流量检测部(205)。隔流部(208d)将第2副通道(234b)分隔为面对测量面(208a)的测量流路和面对非测量面(208b)的非测量流路。在芯片封装件(208)的宽度方向(Dw)上，增速流路(208c)的端部(208ce)与隔流部(208d)的端部(208de)隔离开来。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 检测 装置 | ||
【主权项】：
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