[发明专利]溅射靶制品以及溅射靶制品的再生品的制造方法有效
| 申请号： | 202080008598.2 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN113272468B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 神永贤吾;杉本圭次郎;山田裕贵;村田周平 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/00 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;胡瑾 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种可降低成本的溅射靶制品。所述溅射靶制品，包括：靶，背板或背管，嵌件材料的层，所述靶的非溅射面侧的至少一部分轮廓化为具有面对称状的凹凸部，所述嵌件材料的层形成为紧贴所述轮廓化的表面，所述嵌件材料，由比重至少比构成靶的金属更轻的金属形成。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 制品 以及 再生 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于JX金属株式会社，未经JX金属株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080008598.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：糖尿病性白内障治疗或预防用组合物
- 下一篇：增强电动车辆运行的系统及方法
- 同类专利
- 专利分类
