[发明专利]用于通过声波分析流体的传感装置

摘要

一种检测流体中分析物的方法，所述方法包括预先布置包含至少一个SAW传感器(110)的传感装置(100)的步骤，所述或每个SAW传感器(110)包括基板(115)，基板具有包括至少一个压电部分的外表面(115')，布置在所述外表面(115')的所述压电部分上的至少一个发射叉指式换能器(111)，所述发射叉指式换能器(111)布置为响应于输入电信号而发射表面声波，布置在所述外表面(115')上的至少一个反射器电极(112)，所述反射器电极(112)布置成将所述声波向所述发射叉指式换能器(111)反射。然后是以下步骤：在所述基板(115)的所述外表面(115')上和/或在所述或每个发射叉指式换能器(111)上和/或在所述或每个反射器电极(112)上吸附多个探针分子，发送具有各自频率fi的n个输入电信号到所述发射叉指式换能器(111)，其中i＝1，并且随后由所述或每个发射叉指式换能器(111)传输至少一个表面声波，由所述或每个反射器电极(112)反射所述或每个发射的表面声波，识别所述输入电信号的所述n个频率fi、对应于产生功率超过预定阈值PT的表面声波的至少一个共振频率fr，在所述外表面(115')和/或在所述或每个发射叉指式换能器(111)和/或在所述或每个反射器电极(112)上输送所述流体，通过所述外表面(115')和/或通过所述或每个发射叉指式换能器(111)和/或通过所述或每个反射器电极(112)去除所述流体，验证先前识别的至少一个共振频率fr的值的可能变化。