[发明专利]用于制造镍互连件的组合物和方法在审
| 申请号： | 202080009400.2 | 申请日： | 2020-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN113366156A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·雅各布森;孙绍鹏;埃利·纳贾尔;T·理查德森;文森特·帕内卡西奥;邵文波;凯尔·惠滕 | 申请（专利权）人： | 麦克德米德乐思公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D3/12;H01L21/283;H01L21/288;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于通路填充或势垒镍互连件制造的镍电沉积组合物，该镍电沉积组合物包含：(a)镍离子源；(b)一种或多种极化添加剂；和(c)一种或多种去极化添加剂。该镍电沉积组合物可包含各种添加剂，包括合适的酸、表面活性剂、缓冲剂和/或应力调节剂，以产生通路和沟槽的自下而上填充。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 互连 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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