[发明专利]半导体马赫-曾德尔光调制器在审

专利信息
申请号: 202080009448.3 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN113316740A 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 尾崎常祐;田野边博正;金泽慈 申请(专利权)人: 日本电信电话株式会社
主分类号: G02F1/025 分类号: G02F1/025
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 庄锦军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一个目的是解决由高频线和端接电阻之间的阻抗失配引起的光调制器的高频特性的劣化。半导体马赫‑曾德尔光调制器包括输入侧引出线(20~23)、相位调制电极线(24~27)、输出侧引出线(28~31)、将通过相位调制电极线(24~27)传播的调制信号施加到各个波导(16~19)的电极(32~35),以及接地线(48~50)。此外,在衬底和输出侧引出线(28~31)下方的下层中的介电层之间,沿输出侧引出线(28~31)间断地形成至少一个n型半导体层或p型半导体层。
搜索关键词: 半导体 马赫 曾德尔光 调制器
【主权项】:
暂无信息
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