[发明专利]热等离子体处理设备在审
申请号: | 202080010102.5 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN113330824A | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 朴贤宇;金友一;李启光;赵壬浚 | 申请(专利权)人: | LG电子株式会社 |
主分类号: | H05H1/34 | 分类号: | H05H1/34;H05H1/28 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 刘久亮;黄纶伟 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及可以有效使用热等离子体并可以确保热分解处理气体的反应时间的热等离子体处理设备。根据本发明的一个实施方式的一种热等离子体处理设备包括:炬部,其中在阴极和阳极之间产生电弧,并且在所述阴极和所述阳极之间注入将被所述电弧热分解的处理气体;电源部,其连接到所述阴极和所述阳极,用于在所述阴极和所述阳极之间施加高电压;以及反应部,其与所述炬部连通并在经过所述炬部的所述处理气体中形成湍流。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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