[发明专利]蒸镀掩模在审
| 申请号： | 202080010358.6 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN113348263A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 观田康克 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀区域由薄膜形成的蒸镀掩模，蒸镀掩模包括：形成有多个开口的薄膜状的掩模主体；设置在所述掩模主体的周围的、具有第1层和第2层的保持框；将所述掩模主体与所述保持框连接的第1连接部件；和将所述第1层与所述第2层连接的第2连接部件，所述第1层具有在所述第1层的厚度方向上贯通所述第1层的贯通孔，所述第2连接部件与所述贯通孔的内壁和因所述贯通孔而露出的所述第2层的表面连接。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 | ||
【主权项】：
暂无信息
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