[发明专利]用于3-D IC用途的可激光剥离的结合材料在审
| 申请号： | 202080010422.0 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN113439112A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | L·普兰杰;A·O·索瑟德;吴起;刘晓 | 申请（专利权）人： | 布鲁尔科技公司 |
| 主分类号： | C09J7/40 | 分类号： | C09J7/40;C08J7/04;B32B7/06;C08L61/20;C08G12/08;C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张佳鑫;蔡文清 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型聚酮胺基组合物，其作为可激光剥离的组合物用于临时结合和激光脱结合工艺。本发明的组合物可以使用约300nm～约360nm的波长的各种UV激光脱结合，几乎或完全不留下碎片。由这些组合物形成的层具有良好的热稳定性并耐受半导体加工中使用的常规溶剂。该组合物还可以作为堆积层用于再分布层形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 ic 用途 激光 剥离 结合 材料 | ||
【主权项】：
暂无信息
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