[发明专利]粘贴装置和粘贴方法有效

专利信息
申请号: 202080011304.1 申请日: 2020-01-27
公开(公告)号: CN113382838B 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 中川大辅;宫本和树 申请(专利权)人: 本田技研工业株式会社
主分类号: B29C51/12 分类号: B29C51/12;B29C63/02
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 日本东*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 粘贴装置(1),将薄膜状膜(F)粘贴在工件(W)上,具备:箱体(B),在其内部把持膜(F);下部真空腔体(32)及上部真空腔体(22),在箱体(B)内利用膜(F)划分形成;气压调整装置(5),调整真空腔体(22,32)内的气压;移动机构(6),在下部真空腔体(32)内使工件(W)移动;及,控制装置(7),控制气压调整装置(5)和移动机构(6)。控制装置(7)将真空腔体(22,32)内减压至低于大气压的规定的第一气压,然后,在使膜(F)与工件(W)抵接的状态下使上部真空腔体(22)内上升至高于第一气压且低于大气压的第二气压,然后,使真空腔体(22,32)内上升至大气压。
搜索关键词: 粘贴 装置 方法
【主权项】:
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